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直線電機控制技術在檢測系統是什么應用的

2020-09-24 17:16:44 徽碩實業 63

 直線電機技術已廣泛應用于半導體行業所需要的最先進的運動系統中。如果精度水平需要達到亞微米水平,位置穩定性需要納米水平,必須采用最先進的技術。對于這樣的要求,任何部件的缺陷都會影響整機的性能。正因為如此,它為用戶提供了一個完整的運動系統平臺,擁有最高質量的部件和最好的機械結構設計技術。在晶圓測試工具中,要求極高的精度和生產率。


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  為了滿足高標準的應用要求,LSM直線電機及其獨特的功能滿足了這個高科技行業的要求。最終,這些重要的部件組成了一個機械系統,實現了最高的性能。


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  大多數微電子器件都要求進行無損檢測(NDT)。該測試用于確保產品的功能和可靠性。由于在線檢測,速度必須快,精度必須高,以確保生產線的生產能力不受質量控制程序的影響。


  根據被測產品的類型,從無源器件到復雜的IC,都需要不同的檢測技術,如光學檢測、x射線檢測或超聲波檢測。由直線電機技術組成的完整運動系統,為用戶帶來高精度和最大生產率。


  在測試設備中,為了達到最大的性能,通常兩個重要的系統必須保持同步,移動平臺和測試系統本身。由于HANS能夠提供一個完整的運動平臺系統和運動控制單元,保證了檢測設備的關鍵運動技術要求。這使得設備制造商能夠專注于他們在檢測系統、缺陷識別軟件等方面的核心競爭力,同時要求晶圓運動系統的精度、重復性和生產力。


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